Холдинг «Росэлектроника» Госкорпорации Ростех сообщил о разработке первого полностью российского микродисплея OLED. Это изделие предназначено для использования в гарнитурах виртуальной, дополненной и смешанной реальности (VR/AR/MR), в фото- и видеокамерах, носимых на голове или на шлеме видеомодулях, а также в тепловизионных прицелах и тепловизорах.
Размеры микродисплея — 15,5 х 12,5 мм, разрешение — 1280 х 1024 пикселей. Эти параметры соответствуют шагу пикселей 12 мкм. По словам разработчиков, выпуск микродисплеев OLED предъявляет повышенные требования к технологическому процессу, включая высокую точность обработки верхнего стека кремниевой сверхбольшой интегральной схемы (СБИС) и нанесения многослойной OLED-структуры толщиной не более 100 нм.
«Россия вошла в пятерку стран в мире, которые владеют технологиями создания OLED-микродисплеев. Нам удалось не только освоить сложнейшую технологию изготовления, но и добиться высокого качества выпускаемых изделий, — так оценил достижение генеральный директор Объединенной приборостроительной корпорации Сергей Сахненко. — Наше предприятие готово ежегодно выпускать до 5000 устройств».
Опытно-конструкторские работы и освоение серийного производства микродисплеев выполнены ЦНИИ «Циклон» холдинга «Росэлектроника». Это единственное российское предприятие, располагающее технологией и оборудованием, необходимым для производства OLED. В разработке также участвовали другие предприятия Госкорпорации Ростех. Так, схемотехнические решения разработаны НИИМА «Прогресс», топология производства – НИИМЭ, а изготовлением СБИС с использованием 200-миллиметровых кремниевых пластины занимается компания ПАО «Микрон», входящая в ГК «Элемент» (совместное предприятие Госкорпорации Ростех и АФК «Система»). Разработанные российскими специалистами технологии создания кремниевых микросхем управления и изготовления OLED-микродисплеев запатентованы.
